ICP光譜儀是一種的等離子體光譜儀，可以同時檢出多種元素，而且分析速度快、檢出限低、準確度高，因此廣泛運用于質量控制的元素分析、超微量元素的檢測等領域。ICP光譜儀是一種精密儀器，使用時有不少注意事項。
 

　　1.ICP光譜儀對環境的溫度與濕度都有要求，溫度變化太大或濕度過大都導致儀器受損，影響測試數據。一般室溫要求固定在70～75℃間，溫度變化應小于±1攝氏度；室內濕度應小于70%，適合的濕度是45%～60%。
 

　　2.電源需要足夠穩定，供電電壓的變化一般不能超過±5%，如果變化過大，需要使用自動調壓器或磁飽和穩壓器，不能使用電子穩壓器。另外使用時要經常注意電源的變化，不能長期在過壓或欠壓下工作。
 

　　3.盡量不要與大型用電設備如馬弗爐等共用一條供電線路，保持供電線獨立，避免電壓大幅度的波動，造成儀器工作不穩定。、
 

　　4.使用時應盡量減少停機次數，切記在同一段時間里開開停停，避免頻繁開啟造成儀器損壞。
 

　　5.使用循環水冷的儀器，需要用蒸餾水，防止結垢。
 

　　6.氬氣的純度一般需要在4個9上，氬氣不純會造成儀器熄火或點不著火。